IC6 - INFICON

CAD模型选择

可提供的产品: 1

HELP_VARIABLE


公司	INFICON
描述	IC6
明细表	QJ0C1RFV5
ORDERNO	QJ0C1RFV5
VAR_1__TOOLINGDENSITY___1001__FUNDAMENTAL_FREQUENCY___6_MHZ_2__THE_IC6_HAS_6_DAC_OUTPUTS_STANDARD__6_MORE_CAN_BE_ADDED_AS_AN_OPTION__ANY_OF_THE_12_CAN_BE_CONFIGURED_AS_SOURCE_CONTROL_VOLTAGES_OR_RECORDER_OUTPUTS_HOWEVER_THE_NUMBER_OF_SOURCES_THAT_CAN_BE_CONTROLLED_SIMULTANEOUSLY_IS_6 (1) 工具密度 = 1001，基频 = 6 mhz (2) ic6 标配 6 个 DAC 输出，可选配另外 6 个。	(1) 工具密度 = 1001，基频 = 6 MHz (2) IC6 标配 6 个 DAC 输出，可选配另外 6 个。这 12 个输出中的任何一个都可配置为信号源控制电压或记录器输出，但可同时控制的信号源数量为 6 个。
MATERIAL_PROGRAMS 材料计划	32
MEASUREMENT_FREQUENCY_RANGE 测量频率范围	6.0 至 4.5 MHz（固定频率）
MEASUREMENT_PERFORMANCE 测量性能	测量性能
NUMBER_OF_SOURCES__2_ 来源数 (2)	最多6个
PROCESS_LAYERS__PER_PROCESS_ 工艺层（每个工艺）	200
PROCESS_RECIPE___DATA_MANAGEMENT 工艺配方和数据管理	流程配方和数据管理
PROCESSES 进程	50 个（流程可连接在一起）
THICKNESS_AND_RATE_RESOLUTIONMEASUREMENT__1_ 厚度和速率分辨率测量 (1)	±0.00433 Å
NAME 名字	QJ0C1RFV5