IC6 - INFICON

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Firma	INFICON
Beschreibung	IC6
Stückliste	QJ0C1RFV5
ORDERNO	QJ0C1RFV5
VAR_1__TOOLINGDENSITY___1001__FUNDAMENTAL_FREQUENCY___6_MHZ_2__THE_IC6_HAS_6_DAC_OUTPUTS_STANDARD__6_MORE_CAN_BE_ADDED_AS_AN_OPTION__ANY_OF_THE_12_CAN_BE_CONFIGURED_AS_SOURCE_CONTROL_VOLTAGES_OR_RECORDER_OUTPUTS_HOWEVER_THE_NUMBER_OF_SOURCES_THAT_CAN_BE_CONTROLLED_SIMULTANEOUSLY_IS_6 (1) werkzeugdichte = 1001, grundfrequenz = 6 mhz(2) der ic6 hat standardmäßig 6 dac-ausgänge, 6 weitere können optional hinzugefügt werden. jeder der 12 ausgänge kann als quellensteuerspannung oder rekorderausgang konfiguriert werden. die anzahl der quellen, die gleichzeitig gesteuert werden können, beträgt jedoch 6	(1) Werkzeugdichte = 1001, Grundfrequenz = 6 MHz(2) Der IC6 hat standardmäßig 6 DAC-Ausgänge, 6 weitere können als Option hinzugefügt werden. Jeder der 12 Ausgänge kann als Quellensteuerspannung oder als Schreiberausgang konfiguriert werden. Die Anzahl der Quellen, die gleichzeitig gesteuert werden können, beträgt jedoch 6
MATERIAL_PROGRAMS Materialprogramme	32
MEASUREMENT_FREQUENCY_RANGE Messfrequenzbereich	6,0 bis 4,5 MHz (fest)
MEASUREMENT_PERFORMANCE Messleistung	Messung der Leistung
NUMBER_OF_SOURCES__2_ Anzahl der Quellen (2)	bis zu 6
PROCESS_LAYERS__PER_PROCESS_ Prozessschichten (pro Prozess)	200
PROCESS_RECIPE___DATA_MANAGEMENT Prozessrezept & Datenmanagement	Prozessrezept & Datenmanagement
PROCESSES Prozesse	50 (Prozesse können miteinander verknüpft werden)
THICKNESS_AND_RATE_RESOLUTIONMEASUREMENT__1_ Messung der Dicke und der Ratenauflösung (1)	±0.00433 Å
NAME Name	QJ0C1RFV5